原⼦間⼒顕微鏡(AFM)にて、S-BSL7研磨品の表⾯粗さ RMS=0.23nmを実現

原⼦間⼒顕微鏡(AFM)にて、S-BSL7研磨品の表⾯粗さ RMS=0.23nmを実現。